集成电路厂务超高纯系统

Gas System

气体系统是半导体工厂厂务的核心系统之一，负责将氮气、氧气、氩气、氢气等大宗气体与各类特种气体，经高洁净管路安全、稳定地输送至生产设备。本篇内容涵盖管网形式、管材管件与阀门、系统焊接，以及气体纯度、气密性、颗粒度等测试与验收要点。