Gas System

作者 ExploroX 发布于 2026-11-06

大宗气体

指氮气、氧气、氢气、氩气、氦气。

管网类型

三种类型管网比较：

环形-能较好地保持用气点压力的稳定

鱼骨型-架构清晰,且与其它系统的配管架构相似，利于整体空间规划。缺点是末端用点容易受到压降影响

鱼骨型与环型组合式-在每个支管（或横向）的末端都有一个流量控制装置，以确保始终通过气体进行连续吹扫，从而确保在 submain中没有静态区域（死区），POC处的气体纯度将接近交付点（POD）处的气体供应纯度。

特种气体

具有腐蚀性、易燃、自燃、氧化性、毒性、和混合物的气体定义为特种气体。

BSGS：Bulk specialty gas supply是为大流量供应和大供应量气源而设计，常采用T型气体钢瓶，Y型气体钢瓶,集装格或管式拖车作为气体来源。

供应方式

Type1-惰性气体钢瓶供应

Type2-有害气体（HPM）钢瓶供应

反应性、有毒气体通常使用“双重密封”管道系统，这是一个重要考虑因素，以确保在气体泄漏时，将其安全控制和处置。为了在发生泄漏时提供报警，通常使用两种方式：

全封闭真空--环形空间保持在全真空状态，当内管泄露被检测到真空损失而发出警报。
开放式--环形空间保持开放，VMB的侦测系统将在检测到泄漏时发出警报。

管材管件和阀门仪表

管材

所有直径≥1/2英寸的管子应符合ASTM A269要求；所有<1/2英寸的管子应符合ASTM A632要求

统一数字代号ISC	牌号	通用称呼代号	主要化学成分（质量分数）/%
常用奥氏体不锈钢牌号及性能 _{GB/T 20878—2024}
S31608	06Cr17Ni12Mo2	316	C<0.08；Ni<10~14；Cr<16.00~18.00；Mo<2.00~3.00
S31603	022Cr17Ni12Mo2	316L	C<0.03； Ni<10~14； Cr<16.00~18.00； Mo<2.00~3.00
S30403	022Cr19Ni10	304L	C<0.03； Ni<8~11； Cr<18.00~20.00
S30408	06Cr19Ni10	304	C<0.08； Ni<8~11； Cr<18.00~20.00

等级分类

按洁净等级分类
GP _{General Purpose Grade}	HP _{High Purity Grade}	UHP _{Ultra High Purity Grade}
用于没有严格洁净要求的系统，例如干燥压缩空气和真空管路。	用于高纯系统	用于超高纯工艺系统或腐蚀性系统

按洁净等级分类

_{General Purpose Grade}

_{High Purity Grade}

UHP

_{Ultra High Purity Grade}

用于没有严格洁净要求的系统，例如干燥压缩空气和真空管路。

用于高纯系统

用于超高纯工艺系统或腐蚀性系统

按处理等级分类
AP _{酸洗管Annealing & Pickling}	BA _{光辉烧结Bright Anneal}	EP _{电解抛光Electro-Polish}	VAR / VIM _V+V
用于不作为供气管路的双套管外管	用于不参与制程反应的气体	用于高纯系统	用于腐蚀性系统
_{316L VAR 不锈钢材料是指基体经过常规的氩氧脱碳 (AOD) 或真空脱碳 (VOD) 精炼后，又经过}_{真空电弧重熔 (VAR)}_{处理的不锈钢，使得材料纯度更高、特性更为优异。而采用}_{真空双联熔炼}_{工艺，即先利用}_{真空感应熔炼 (VIM)}_{进行初炼以精准控制成分并脱气，然后再经过}_{真空电弧重熔 (VAR)}_{工艺二次精炼，通过这种特殊精炼方式将材料的 C、Mn、Si、P、S 含量降至极低水平的不锈钢材料，被命名为}_{316L VIM-VAR}_。 _{哈氏合金 C-22}_{HASTELLOY®有时被考虑用于高腐蚀性介质，如HCL HBR等。}

按处理等级分类

_{酸洗管Annealing & Pickling}

_{光辉烧结Bright Anneal}

_{电解抛光Electro-Polish}

VAR / VIM

_V+V

用于不作为供气管路的双套管外管

用于不参与制程反应的气体

用于高纯系统

用于腐蚀性系统

_{316L VAR 不锈钢材料是指基体经过常规的氩氧脱碳 (AOD) 或真空脱碳 (VOD) 精炼后，又经过}_{真空电弧重熔 (VAR)}_{处理的不锈钢，使得材料纯度更高、特性更为优异。而采用}_{真空双联熔炼}_{工艺，即先利用}_{真空感应熔炼 (VIM)}_{进行初炼以精准控制成分并脱气，然后再经过}_{真空电弧重熔 (VAR)}_{工艺二次精炼，通过这种特殊精炼方式将材料的 C、Mn、Si、P、S 含量降至极低水平的不锈钢材料，被命名为}_{316L VIM-VAR}_。

_{哈氏合金 C-22}_{HASTELLOY®有时被考虑用于高腐蚀性介质，如HCL HBR等。}

内表面粗糙度标准要求

内表面粗糙度标准 _{SEMI F19}

_{General Purpose Grade}

_{High Purity Grade}

UHP

_{Ultra High Purity Grade}

≤ 0.50 μm (20 μin) RaAvg.

≤ 0.62 µm (25 µin) RaMax.

≤ 3.75 μm (150 μin) RyMax.

≤ 0.25 μm (10 μin) RaAvg.

≤ 0.38 µm (15 µin) RaMax.

≤ 3.75 μm (150 μin) RyMax.

≤ 0.13 μm (5 μin) Ra Avg.

≤ 0.25 μm (10 μin) RaMax.

≤ 2.50 μm (100 μin) RyMax.

内表面粗糙度标准_{GB 50724-2011《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》}
BA	EP
Ra ≤0.7μm	Ra ≤0.25μm

管件

Swagelok/VCR结构部件

Swagelok/VCR安换方法

https://www.swagelok.com/downloads/webcatalogs/en/ms-crd-vcr.pdf

https://www.swagelok.com/-/media/distributor-media/o-s/stockholm/swagelok_products/tube-fitting-installation-guide.ashx

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